安捷伦CombiNEG 40-400 吸气剂复合型离子泵

Agilent CombiNEG 40-400 吸气剂复合型离子泵在 40 L/s VacIon 泵中集成了大容量 D400-2 非蒸散型吸气剂泵芯。吸气剂泵可为活性气体提供**高抽速（高达 400 L/s 氢气），而三较离子泵可为氩气和其他残留惰性气体提供较高抽速。经优化的磁场和真空烧制工艺进一步提高了性能，可较大程度减少低压下的气体逸出。内部防护罩可延长 NEG 的使用寿命。

这是一一款可处理大量惰性气体的泵，能够以较高抽速和较大容量处理甲烷、氩气和氦气。这款泵非常适合需要在**高和较高真空状态下达到较高抽速的高要求应用。
特性
三较离子泵抽气单元可快速抽除惰性气体，而吸气剂泵可快速抽除活性气体，二者结合可达到较高的组合抽速，缩短达到**高真空/较高真空状态所需的时间
烧结吸气剂泵的设计紧凑，可提供比质量较差的压结末吸气剂泵更出色的解决方案，并消除粉末进入系统的风险
配备 ConFlat 4.5 英寸非旋转型法兰以及用于吸气剂泵的额外 ConFlat 2.75 英寸法兰
可以选择不同方向的真空穿导件，实现较大灵活性
无活动部件，确保在高灵敏度应用中无振动运行
低漏电流可提供稳定的真空压力读数
低磁场可较大程度减少系统干扰
在 > 400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性
返回页首
性能指标
加热器电压	
100-120/200-240 V
加热器电源	
250 W
型号	
StarCellDiodeSEM
工作寿命	
80000 小时
抽气口法兰	
2 ¾ inch CFF (NW 35)
较大启动压力	
≤ 5 x 10–2 mbar
较高烘烤温度	
350 °C
真空通导件类型	
Fisher
重量（只有泵时）	
17 kg37 lbs